XBZN-1000/600 智能機(jī)器人拋光系統(tǒng)
可以實(shí)現(xiàn)大口徑平面、球面、非球面、離軸非球面和自由曲面等光學(xué)元件的確定性拋光加工，可加工光學(xué)元器件材料：涵蓋石英、玻璃、ULE、單晶硅、碳化硅、藍(lán)寶石、陶瓷等光學(xué)材料，以及銅、鋁、鎳等金屬材質(zhì)。
|
技術(shù)參數(shù) |
XBZN-1000 |
XBZN-600 |
|
加工元件類型 |
平面/球面/非球面/自由曲面等 |
平面/球面/非球面/自由曲面等 |
|
加工元件外形 |
圓形/橢圓/矩形/多邊形/內(nèi)開異形孔形等 |
圓形/橢圓/矩形/多邊形/內(nèi)開異形孔形等 |
|
加工元件口徑 |
50mm~1000mm |
50mm~600mm |
|
元件厚度 |
≤500mm |
≤500mm |
|
拋光頭額定轉(zhuǎn)速 |
300rpm |
300rpm |
|
工作臺直徑 |
1100mm |
700mm |
|
壓力設(shè)置范圍 |
0~125N |
0~125N |
|
壓力設(shè)置分辨率 |
±0.4N |
±0.4N |
|
加工精度 |
平面RMS≤7nm/非球面RMS≤10nm |
平面RMS≤7nm/非球RMS≤10nm |
|
拋光表面粗糙度 |
Ra≤1nm |
Ra≤1nm |
|
表面光潔度 |
優(yōu)于I級 |
優(yōu)于II級 |
|
位姿重復(fù)精度(ISO 9283) |
±0.05mm |
±0.03mm |
|
機(jī)械臂負(fù)載能力 |
45Kg |
20Kg |
|
外形尺寸 |
2800mm×1200mm×2500mm |
1600mm×1000mm×2200mm |
|
機(jī)床重量(約) |
3.2T |
1.2T |
