等離子清洗機(jī)KT-S2DQX,用于表面清洗,活化,刻蝕等離子清洗機(jī)電源屬于150W 13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設(shè)備，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。
該等離子清洗機(jī)KT-S2DQX,用于表面清洗,活化,刻蝕清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉體，容積為2升。采用了新型的外觀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù)，使其有效容積增大，不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配，且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗，可直觀物體的處理過程，其射頻電源與控制都組裝在一個機(jī)箱內(nèi)，即減少了空間的占用，更便于操作和放置，同時與大型清洗機(jī)相比較，從檢測功能與控制功能的設(shè)置上均可一個面板上操作，特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn) 樣品清洗 和教學(xué)。
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供電電源 |
AC220V（AC110V可選) |
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工作電流 |
整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
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射頻電源功率 |
150W |
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射頻頻率 |
13.56MHz |
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頻率偏移量 |
＜0.2MHz |
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特性阻抗 |
50歐姆，手動匹配 |
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耦合方式 |
電容耦合 |
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真空度 |
≤100Pa |
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腔體材質(zhì) |
高純石英 |
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腔體容積 |
2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM) |
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觀察窗內(nèi)徑 |
Φ65 |
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氣體流量 |
10—100ml/min（其他量程可選） |
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過程控制 |
過程手動控制 |
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清洗時間 |
手動開關(guān) |
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開蓋方式 |
鉸鏈側(cè)開式法蘭 |
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外形尺寸 |
400x380x360mm |
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重量 |
23Kg |
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真空室溫度 |
小于65°C |
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冷卻方式 |
強(qiáng)制風(fēng)冷 |
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標(biāo)配 |
KF16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網(wǎng)匣1個，電源線一根，說明書一本。
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