中型真空高低溫探針臺(tái)
高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)達(dá)到≤10Pa即可進(jìn)行低溫測(cè)試而無(wú)凝露或結(jié)霜。對(duì)于選用了入門(mén)級(jí)配置的用戶，可選用雙極旋片式機(jī)械泵即可達(dá)到目標(biāo)真空度，從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對(duì)于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行抽真空。低溫探針臺(tái)系統(tǒng)可達(dá)10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測(cè)試要求。
為了減少泵組的振動(dòng)，我們還專門(mén)為用戶設(shè)計(jì)了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的漂移。
中型真空高低溫探針臺(tái)的技術(shù)參數(shù)：
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真空腔體 |
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腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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上蓋開(kāi)啟 |
鉸鏈側(cè)開(kāi) |
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加熱臺(tái)材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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內(nèi)腔體尺寸 |
φ160x90mm |
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觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
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加熱臺(tái)尺寸 |
φ60mm |
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觀察窗熱臺(tái)間距 |
75mm |
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加熱臺(tái)溫度 |
﹣196~350℃ |
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加熱臺(tái)溫控誤差 |
±1℃ |
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真空度 |
機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
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允許正壓 |
≤0.1MPa |
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真空抽氣口 |
KF25真空法蘭 |
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氣體進(jìn)氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
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電信號(hào)接頭 |
SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
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電學(xué)性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
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探針數(shù)量 |
4探針 |
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探針材質(zhì) |
鎢針 |
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探針尖 |
10μm |
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探針移動(dòng)平臺(tái) |
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X軸移動(dòng)行程 |
30mm ±15mm |
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X軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Y軸移動(dòng)行程 |
13mm ±12.5mm |
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Y軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Z軸移動(dòng)行程 |
13mm ±12.5mm |
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Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
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電子顯微鏡 |
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顯微鏡類(lèi)別 |
物鏡 |
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物鏡倍數(shù) |
0.7-4.5倍 |
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工作間距 |
90mm |
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相機(jī) |
sony 高清 |
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像素 |
19201080像素 |
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圖像接口 |
VGA |
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LED可調(diào)光源 |
有 |
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顯示屏 |
8寸 |
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放大倍數(shù) |
19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
