科探標(biāo)準(zhǔn)復(fù)合分子泵機(jī)組：是一臺(tái)清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識(shí)原理，利用機(jī)械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng)，具有啟動(dòng)時(shí)間快、真空度高、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測(cè)量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等
技術(shù)參數(shù)：
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控制方式 |
手動(dòng)控制/自動(dòng)控制切換 |
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前級(jí)泵接口 |
KF25（客戶根據(jù)真空環(huán)境潔凈度要求自行安裝前級(jí)泵） |
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分子泵 |
FF-100/150 51000轉(zhuǎn)/分 |
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分子泵抽氣速率 |
140L/S |
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分子泵啟動(dòng)時(shí)間 |
≤2min |
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空載極限壓強(qiáng) |
≤1X10-4Pa |
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真空測(cè)量方式 |
冷陰極標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管 |
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真空測(cè)量范圍 |
1E﹢2到1E-5 Pa |
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真空測(cè)量精度 |
1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數(shù) 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數(shù) 重復(fù)性： ±5% |
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抽氣接口 |
KF25 |
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閥門類型 |
KF25手動(dòng)擋板閥 |
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系統(tǒng)電源 |
AC220V |
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系統(tǒng)功率 |
≤1KW |
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環(huán)境溫度 |
5~32℃ |
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冷卻方式 |
強(qiáng)制風(fēng)冷卻 |
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濕度 |
≤80%RH |
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外形尺寸 |
250 X360 X 300mm （寬-深-高） |
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重量 |
25KG |
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隨機(jī)配件：KF25高真空擋板閥X1個(gè) KF25卡箍X3個(gè) kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說明書X1本 電源線x1根 冷陰極真空計(jì)X1個(gè) |
