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特氣管路水含量測驗

  • 發(fā)布時間:2025-08-28 11:13:40,加入時間:2023年06月25日(距今795天)
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水份分析測試(TRACE MOISTURE )

特氣管道水分測試驗收標準:
參考標準:GB 50646-2011 特種氣體系統(tǒng)工程技術規(guī)范
1.特種氣體系統(tǒng)水分測試時,氣體速度應低于設計流速的10%,且小于3m/s;
2.測試氣源的水分應小于1ppbv;
3.測試氣體水分增量應小于20ppbv;
4.測試結束后,應至少保持20min穩(wěn)定在規(guī)定值以下為合格。
在氣體管路工程,尤其是氫氣管路等工程中,因為施工裝配等原因,管路之間的連接處會存在一些肉眼差距不到的漏孔,這在使用時會導致泄露以及安全事故。
尤其是在半導體、集成電路等微電子行業(yè)輸送超高純電子氣體的氣體管道工程中,如果發(fā)生泄漏,將對生產安全產生很大影響,因此泄漏檢測非常重煙
工藝上對于純度要求高的氣體都需做氨檢,甚至要求氣體管路的漏率在每秒10*e-10CC才可以送氣通常氣體的漏率要求在1.0*e-9 cc.atm/sec以上

特氣管路水含量測驗

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