在高精密自動化設(shè)備的運(yùn)行過程中,XY精密運(yùn)動平臺的精度是衡量其性能的核心指標(biāo)之一。不同應(yīng)用場景對精度的要求差異較大,從微米級到納米級不等。漢諾作為專注于高精密高穩(wěn)定性直線電機(jī)模組平臺研發(fā)的廠家,通過25年的技術(shù)積累,其XY精密運(yùn)動平臺在精度控制方面達(dá)到了行業(yè)先進(jìn)水平。
漢諾的XY精密運(yùn)動平臺精度控制能力,源于對核心技術(shù)的持續(xù)投入。公司自主研發(fā)的直線電機(jī)驅(qū)動技術(shù),配合高精度導(dǎo)軌與光柵反饋系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)微米級的定位精度。例如,在3C行業(yè)的手機(jī)屏幕檢測設(shè)備中,XY精密運(yùn)動平臺需要帶動檢測鏡頭進(jìn)行高速掃描,其重復(fù)定位精度需控制在微米級別,以確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。漢諾通過優(yōu)化電機(jī)控制算法與機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使XY精密運(yùn)動平臺的重復(fù)定位精度穩(wěn)定在較高水平,滿足了客戶對精密檢測的需求。
對于更高精度要求的場景,如半導(dǎo)體晶圓加工與檢測,漢諾的XY精密運(yùn)動平臺可整合壓電平臺技術(shù),實(shí)現(xiàn)納米級的運(yùn)動控制。壓電平臺利用壓電材料的逆壓電效應(yīng),能夠產(chǎn)生微小位移,其控制精度可達(dá)到正負(fù)3nm左右。漢諾將壓電平臺與XY精密運(yùn)動平臺結(jié)合,形成多維度精密運(yùn)動系統(tǒng),滿足了半導(dǎo)體行業(yè)對亞微米級、納米級精度的嚴(yán)苛要求。
為確保XY精密運(yùn)動平臺的精度穩(wěn)定性,漢諾在生產(chǎn)過程中引入了多臺高精密檢測設(shè)備。其中包括10臺雷尼紹激光干涉儀,可對平臺的定位精度、重復(fù)定位精度進(jìn)行全行程檢測;準(zhǔn)直儀與激光多普勒分析儀則用于檢測平臺的直線度與運(yùn)動平穩(wěn)性。這些檢測設(shè)備的應(yīng)用,使得每臺XY精密運(yùn)動平臺在出廠前都經(jīng)過嚴(yán)格的精度校準(zhǔn),確保交付給客戶的產(chǎn)品符合設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)。
此外,漢諾的生產(chǎn)工藝對精度控制起到了關(guān)鍵作用。一萬五千平的研發(fā)生產(chǎn)車間采用6S管理標(biāo)準(zhǔn),從零部件加工到裝配調(diào)試,每個(gè)環(huán)節(jié)都有明確的操作規(guī)范。多名擁有十年以上裝配經(jīng)驗(yàn)的高級技工,在裝配過程中通過手工微調(diào)與機(jī)械校準(zhǔn)相結(jié)合的方式,減少機(jī)械間隙對精度的影響。例如,在導(dǎo)軌與滑塊的裝配中,技工通過控制預(yù)緊力,確保XY精密運(yùn)動平臺在長期運(yùn)行中保持穩(wěn)定的精度表現(xiàn)。
XY精密運(yùn)動平臺的精度還與其材料選擇密切相關(guān)。漢諾根據(jù)不同應(yīng)用場景的需求,提供鋁型材、鋼底板、大理石等多種基座材質(zhì)的解決方案。大理石基座具有良好的剛性與溫度穩(wěn)定性,能夠有效減少環(huán)境溫度變化對平臺精度的影響,適用于高精度檢測設(shè)備;鋁型材則具有輕量化特點(diǎn),適用于對運(yùn)動速度要求較高的場景。通過合理的材料選擇與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),漢諾的XY精密運(yùn)動平臺在精度與性能之間實(shí)現(xiàn)了平衡。
在實(shí)際應(yīng)用中,漢諾的XY精密運(yùn)動平臺已服務(wù)于LED面板檢測、PCB線路板加工、醫(yī)療器械等多個(gè)高精度需求領(lǐng)域。例如,在LED面板檢測設(shè)備中,XY精密運(yùn)動平臺需要帶動檢測探頭對面板上的微小像素進(jìn)行掃描,其定位精度直接影響檢測效率與準(zhǔn)確性。漢諾通過持續(xù)優(yōu)化產(chǎn)品設(shè)計(jì)與生產(chǎn)工藝,使XY精密運(yùn)動平臺的精度能夠滿足不同行業(yè)的多樣化需求。
綜上所述,漢諾的XY精密運(yùn)動平臺通過核心技術(shù)研發(fā)、精密檢測設(shè)備、嚴(yán)格生產(chǎn)工藝與合理材料選擇,實(shí)現(xiàn)了從微米級到納米級的精度控制,為高精密自動化設(shè)備提供了可靠的運(yùn)動解決方案。