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顆粒測試(PARTICLE COUNTING)
在工藝應(yīng)用中的高純氣體中如果含有顆粒污染物會削弱甚至破壞晶圓的回路。顆粒測試可以檢查在高純氣體管
道中的顆粒污染物。激光探測器可以出色的完成對 VMB，氣瓶柜，氣體盤面和高純氣體管路的顆粒檢查任務(wù)。也
可以提供對大宗氣體，包括應(yīng)用中的工藝氮?dú)猓�，氫氣，氧氣和氬氣系統(tǒng)的顆粒檢查。
特氣管道顆粒測試驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：
參考標(biāo)準(zhǔn)：GB 50646-2011 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范
1.特種氣體系統(tǒng)顆粒測試時，其氣體流量應(yīng)由管道直徑確定；
2.測試氣源的顆粒數(shù)應(yīng)在規(guī)定顆粒直徑狀態(tài)為零；
3.測試氣體中大于0.1~0.3微米的顆粒數(shù)應(yīng)≤35顆粒/m³；連續(xù)3次達(dá)標(biāo)為合格。
