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氦檢漏檢查(HELIUM LEAK CHECK)
       氦質(zhì)譜測漏是靈敏和無破壞性的確認(rèn)系統(tǒng)密封性，環(huán)境安全性和產(chǎn)品質(zhì)量的測試方法。機(jī)械式的干泵可以對
VMB，氣瓶柜，盤面和氣體管道進(jìn)行無污染的測試。在把系統(tǒng)交給客戶使用前，對于二次配的氣體管路進(jìn)行氦測
漏，進(jìn)一步的確保整個(gè)系統(tǒng)的密封性。測漏服務(wù)業(yè)可以含蓋對機(jī)臺的 CHAMBER 抽真空，噴氦，然后進(jìn)行機(jī)臺內(nèi)
部的檢測。
特氣管道氦檢漏測試驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：
參考標(biāo)準(zhǔn)：GB 50646-2011 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范
1.氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1x10-10mbar·1/s
2.特種氣體系統(tǒng)氦檢漏的泄露率應(yīng)符合下列規(guī)定：
內(nèi)向測漏法測定的泄露率不得大于1x10-9mbar·1/s
3.氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后，應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗(yàn)，合格后再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏；
4.所有可能泄漏點(diǎn)應(yīng)用塑料袋進(jìn)行隔離；
5.系統(tǒng)測試完畢，應(yīng)充入高純氮?dú)饣驓鍤�，并進(jìn)行吹掃。