六氟化硫為無色、無味、不燃燒，無電抗性的、相對無毒、僅有窒息性的液化氣體。液化瓶裝氣體，壓力為其蒸氣壓(202.78 kgf/cm2 @21.1°C)。六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，被廣泛應(yīng)用于電器工業(yè)，如：斷路器、高壓開關(guān)、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。SF6還因其化學(xué)惰性、無毒 、不燃及無腐蝕性，還被廣泛應(yīng)用于金屬冶煉（如鎂合金熔化爐保護氣體）、航空 航天、醫(yī)療（Ｘ光機、激光機）、氣象（示蹤分析）、化工（高級汽車輪胎、新型滅火器）等。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。隨著當今科技的發(fā)展，SF6涉及的領(lǐng)域不斷擴展，被越來越多的基礎(chǔ)領(lǐng)域和科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，在制冷行業(yè)，用六氟化硫做制冷劑，致冷范圍可在-45℃～0℃之間。

六氟化硫斷路器是利用六氟化硫氣體作為滅弧介質(zhì)和絕緣介質(zhì)的一種斷路器。六氟化硫用作斷路器中滅弧氣體介質(zhì)始于20世紀50年代初。由于六氟化硫氣體的優(yōu)異特性，使六氟化硫斷路器單斷口在電壓和電流參數(shù)方面大大高于壓縮空氣斷路器和少油斷路器，并且不需要高的氣壓和相當多的串聯(lián)斷口數(shù)。在60～70年代,SF6斷路器已廣泛用于超高壓大容量電力系統(tǒng)中。80年代初已研制成功363千伏單斷口、550千伏雙斷口和額定開斷電流達80、100 千安的SF6斷路器。