鍍膜機(jī)是一種用于在物體表面覆蓋一層薄膜的技術(shù)設(shè)備,廣泛應(yīng)用于物理學(xué)、化學(xué)、機(jī)械工程等多個領(lǐng)域。鍍膜機(jī)通過在真空條件下,采用等離子技術(shù)或其他方法,制備出純度高的金屬膜、化合物膜等,適用于半導(dǎo)體、顯示、光伏、工具鍍膜、裝飾鍍膜、功能鍍膜等多種應(yīng)用。
鍍膜機(jī)的主要工作原理包括蒸發(fā)鍍膜和濺射鍍膜兩種方式。在蒸發(fā)鍍膜過程中,通過加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來,并沉降在基片表面,通過成膜過程形成薄膜。而在濺射鍍膜過程中,利用電子或高能激光轟擊靶材,使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并最終沉積在基片表面,形成薄膜。
鍍膜機(jī)的應(yīng)用范圍非常廣泛,包括但不限于:
物理學(xué)和化學(xué)領(lǐng)域:用于工藝試驗(yàn),制備有機(jī)材料和金屬材料的薄膜。 機(jī)械工程領(lǐng)域:用于制備高熔點(diǎn)氧化物、金屬材料薄膜,以及在光學(xué)儀器的寬帶減反射膜、激光硬膜反射鏡等方面的應(yīng)用。 其他領(lǐng)域:還包括顯示技術(shù)、半導(dǎo)體制造、光伏技術(shù)等,以及工具鍍膜、裝飾鍍膜和功能鍍膜等方面。