PETER WOLTERS AC microLine 1500 - PETER WOLTERS拋光機AC microLine 1500 產(chǎn)品介紹
LAPMASTER WOLTERS 為需要準(zhǔn)確結(jié)果的半導(dǎo)體客戶提供可靠的晶圓拋光機。他們?yōu)榫A和基板的高精度表面技術(shù)提供量身定制的解決方案。例如在 Silicon Prime Wafer 和 LED 市場。硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、碳化硅等用于制造微電子、微光學(xué)和微機械器件的材料。他們適用于各種直徑基材的研磨、研磨、機械和化學(xué)拋光機可提供準(zhǔn)確的工藝結(jié)果。LAPMASTER WOLTERS 是硅晶片拋光機的主要供應(yīng)商，可拋光直徑達(dá) 450 毫米。
PETER WOLTERS AC microLine 1500 - PETER WOLTERS拋光機AC microLine 1500 性能特點
快速、符合人體工程學(xué)的裝卸
外擺式上工作盤，以良好方式進入工作區(qū)域
用戶友好、直觀的操作
良好的加工效果和高的精度
運行成本低
個性化流程開發(fā)
低維護/友好
PETER WOLTERS AC microLine 1500 - PETER WOLTERS拋光機AC microLine 1500 技術(shù)參數(shù)
機器尺寸[高×寬×深] [mm]：2510×3560×2900
不含控制柜的機器重量[kg]：8200
~大工件高度[mm]：125
~大工件直徑[mm]：500
LFE
