NE-PE250C 是一款大型工業(yè)用真空等離子處理系統(tǒng)，設(shè)備配備大功率、大腔體、密度大、高穩(wěn)定性，適用于大規(guī)模連續(xù)生產(chǎn)。設(shè)備采用高性能真空泵快速產(chǎn)生超低的真空壓強(qiáng)。同時(shí)根據(jù)客戶工藝要求，對(duì)真空反應(yīng)腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體，采用高品質(zhì)等離子發(fā)生器，使得通入的工藝氣體產(chǎn)生等離子體，并確保穩(wěn)定產(chǎn)生高密度，高能量的離子。等離子體與材料發(fā)生復(fù)雜的物理，化學(xué)反應(yīng)，可以實(shí)現(xiàn)不同的工藝功能，比如清洗，活化，刻蝕與涂敷等。等離子態(tài)顯著的特點(diǎn)是高均勻性輝光放電，根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的色彩可見(jiàn)光。
設(shè)備優(yōu)勢(shì)
腔體采用航空兵鋁合金材質(zhì)，無(wú)金屬污染；
通過(guò) COMSOL 專業(yè)仿真模擬測(cè)試，結(jié)合多次驗(yàn)證結(jié)果，得到最優(yōu)腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，保證
清洗效果和均勻性；
CCP 放電模式，全自動(dòng)匹配離子源；
獨(dú)特的腔體進(jìn)氣系統(tǒng)，進(jìn)氣均勻，保證電離效果均勻性；
出廠前氦氣檢漏儀撿漏，保證腔體密封性；
進(jìn)氣、抽氣、破真空全獨(dú)立系統(tǒng)，且破真空系統(tǒng)可接氮?dú)猓_保腔體氣體清潔性。
