半導(dǎo)體硅片二氧化硅晶圓細(xì)孔加工盲孔定制
隨著硅半導(dǎo)體集成電路的廣泛應(yīng)用,硅半導(dǎo)體集成電路都要用到晶圓,傳統(tǒng)的晶圓切割方法,都是手工采用金剛石刀進(jìn)行切割,在晶圓上劃分出若干個(gè)圓環(huán),在劃分出的圓環(huán)上切割出面積相等或者近似相等的小圓弧體。或者采用的是非均勻圓環(huán)、同一圓心角內(nèi)進(jìn)行切割的切割方法,這種晶圓切割方法的耗材大,經(jīng)常要更換刀具,切割出來(lái)的晶圓芯片相距的寬度比較大,不均勻,所能切割的材料單一,適用性差,效率低下。
因此晶圓激光切割的方法工作效率高、能精確地調(diào)整待切割晶圓的各個(gè)方向的位置、精度高、全自動(dòng)運(yùn)行,對(duì)晶圓切割的位置進(jìn)行準(zhǔn)確定位,切割出來(lái)的晶圓芯片均勻、美觀(guān),能切割多種材料,適應(yīng)性強(qiáng),可以避免薄晶圓因切割破裂。
硅片加工的具體加工內(nèi)容
承接0.05mm-2mm各種激光切割、開(kāi)孔鉆孔、劃線(xiàn)、開(kāi)槽、異形切割、盲孔盲槽定制。
應(yīng)用及市場(chǎng)
太陽(yáng)能行業(yè)單晶硅、多晶硅、非晶硅帶太陽(yáng)能電池片和硅片的劃片(切割、異形加工,微小孔,打孔加工)。
半導(dǎo)體晶圓片切割的非晶硅單晶硅多晶硅,半導(dǎo)體晶圓片切割,氮化鎵,銅銦鎵硒,碲化鎘,等多種基材的精細(xì)切割鉆孔,蝕刻,微結(jié)構(gòu),打標(biāo)和改片切圓異形皆可,厚度-般不超過(guò)半導(dǎo)體晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過(guò)研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。國(guó)內(nèi)晶圓生產(chǎn)線(xiàn)以 8英寸和 12 英寸為主。晶圓的主要加工方式承接0.05mm-2mm各種激光切割、開(kāi)孔鉆孔、劃線(xiàn)、開(kāi)槽、刻圖形字體,各種透光材質(zhì)都可做,價(jià)格優(yōu)惠打孔厚度0.1mm-40mm最小孔徑0.05mm*大孔徑90mm尺寸公差 ≥±0.02mm。
梁工