等離子體是一種聚集態(tài)物質(zhì),其所擁有的高能電子能在毫秒級的時間內(nèi),瞬間擊穿空氣和廢氣分子,發(fā)生一系列分化裂解反應(yīng),產(chǎn)生高濃度、高強度、高能量的活性自由基和各種電子、離子等,在與機廢氣中的分子碰撞時會發(fā)生一系列基元物化反應(yīng),并在反應(yīng)過程中產(chǎn)生多種活性自由基和生態(tài)氧,即臭氧分解而產(chǎn)生的原子氧;钚宰杂苫梢杂行У仄茐母鞣N病毒、細菌中的核酸,蛋白質(zhì),使其不能進行正常的代謝和生物合成,從而致其死亡;而生態(tài)氧能迅速將有機廢氣分子異味氣體分解或還原為低分子無害物質(zhì);另外,借助等離子體中的離子與物體的聚合吸附作用,可以對小至亞微米級的細微有機廢氣顆粒物進行有效的吸附沉降處理。