光氧等離子復(fù)合廢氣處理設(shè)備綜合采用了等離子廢氣凈化器和紫外光觸媒除臭廢氣凈化器兩種設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)組合而成，利用等離子分解技術(shù)和UV紫外光解技術(shù)結(jié)合，對(duì)廢氣和臭氣進(jìn)行高效協(xié)同凈化處理。有機(jī)廢氣和惡臭氣體進(jìn)入集成設(shè)備后，經(jīng)過UV紫外光束區(qū)時(shí)，被紫外光波高能高效率地照射，瞬間產(chǎn)生光解反應(yīng)，經(jīng)過等離子體電場時(shí)，在納秒級(jí)時(shí)間范圍內(nèi)，產(chǎn)生裂變分解反應(yīng)，如此協(xié)同高效地產(chǎn)生一系光解和分解反應(yīng)，經(jīng)過多級(jí)凈化后從而達(dá)標(biāo)排放。

光氧催化模塊運(yùn)用253.7納米波段光切割、斷鏈、燃燒、裂解廢氣分子鏈，改變分子結(jié)構(gòu)，為第一重處理；取185納米波段光對(duì)廢氣分子進(jìn)行催化氧化，使破壞后的分子中子或原子以O(shè)3進(jìn)行結(jié)合，使有機(jī)或無機(jī)高分子惡臭化合物分子鏈，在催化氧化過程中，轉(zhuǎn)變成低分子化合物CO2、H2O等，為第二重處理；接著廢氣進(jìn)入等離子模塊，通過放電，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉(zhuǎn)化為污染物分子的內(nèi)能或動(dòng)能，這些獲得能量的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成活性基團(tuán)，當(dāng)污染物分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時(shí)，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。等離子體中包含大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，同時(shí)產(chǎn)生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性極強(qiáng)的O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，最后生成無害產(chǎn)物。物理作用表現(xiàn)在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。生物作用表現(xiàn)在具有消毒殺菌之功效。機(jī)理為：等離子體中的正負(fù)粒子使微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于其細(xì)胞膜表面張力，致使細(xì)胞膜遭到破壞而導(dǎo)致微生物死亡。