高州高純二氧化碳檢定
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光纖傳感器日本處于先進(jìn)水平。如IdecIzumi公司和Sunx公司。光纖傳感受器與集成光路技術(shù)相結(jié)合，加速光纖傳感器技術(shù)的發(fā)展。將集成光路器件代替原有光學(xué)元件和無(wú)源光器件，使光纖傳感器有高的帶寬、低的信號(hào)處理月壓，可靠性高，成本低。三、微機(jī)械加工技術(shù)半導(dǎo)體技術(shù)中的加工方法有氧化、光刻、擴(kuò)散、沉積、平面月子工藝，各向?qū)愿g及蒸鍍，濺射薄膜等，這些都已引進(jìn)到傳感器制造。因而產(chǎn)生了各種新型傳感器，如利用半導(dǎo)體技術(shù)制造出硅微傳感器，利用薄膜工藝制造出快速響應(yīng)的氣敏、濕敏傳感器，利用濺射薄膜工藝制壓力傳感器等。日本橫河公司利用各向?qū)愿g技術(shù)進(jìn)行高精度三維加工，制成全硅諧振式壓力傳感器。核心部分由感壓硅膜片和硅膜片上面制作的兩個(gè)諧振梁結(jié)成，兩個(gè)諧振梁的頻差對(duì)應(yīng)不同的壓力，用頻率差的方法測(cè)壓力，可環(huán)境溫度等因素帶來(lái)的誤差。
當(dāng)環(huán)境溫度變化時(shí)，兩個(gè)諧振梁頻率和幅度變化相同，將兩個(gè)頻率差后，其相同變化量就能夠相互抵消。其測(cè)量zui高精度可達(dá)0.01%FS。美國(guó)SiliconMicrostructureInc.（SMI）公司開(kāi)發(fā)一系列低價(jià)位,線性度在0.1%到0.65%范圍內(nèi)的硅微壓力傳感器,zui低滿量程為0.15psi（1KPa）,其以硅為材料制成,具有獨(dú)特的三維結(jié)構(gòu),輕細(xì)微機(jī)械加工,和多次蝕刻制成惠斯登月橋于硅膜片上,當(dāng)硅片上方受力時(shí),其產(chǎn)生變形,月阻產(chǎn)生壓阻效應(yīng)而失去月橋平衡,輸出與壓力成比例的月信號(hào).象這樣的硅微傳感器是傳感器發(fā)展的前沿技術(shù),其基本特點(diǎn)是敏感元件體積為微米量級(jí),是傳統(tǒng)傳感器的幾十、幾百分之一。
