真空烘箱的過程是將干燥物料置于密閉的干燥室內，在抽真空系統(tǒng)的同時對干燥物料進行連續(xù)加熱，使物料內部的水分通過壓差或濃度差向表面擴散，水分子在物料表面獲得足夠的動能，克服分子間的相互吸引后逃逸到真空室的低壓空間。抽真空被真空泵抽走的過程

在真空干燥過程中，干燥室內的壓力始終低于大氣壓，氣體分子數少，密度低，含氧量低，因此可以干燥易氧化變質的物料，以及易燃易爆的危險物品。在藥品、食品和生物制品的消毒滅菌中可以起到一定的作用，可以減少物質污染的機會或抑制某些細菌的生長。