刻蝕機(jī),也稱為蝕刻機(jī),在電子行業(yè)、半導(dǎo)體制造工藝中得到廣泛應(yīng)用,主要用于將圖案、印刷電路等有機(jī)材料蝕刻成所需形狀,從而制作出微型電路板、集成電路和 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))等。
刻蝕機(jī)的主要作用是通過化學(xué)反應(yīng),將物質(zhì)表面的一部分材料溶解掉,從而浮現(xiàn)出所需的微型結(jié)構(gòu)或線路?涛g機(jī)某種程度上類似于打印機(jī),但是它是將圖案等從物質(zhì)表面摳出來,而不是像打印機(jī)一樣將圖案印在表面。
刻蝕機(jī)通常通過和氧氣或氫氣反應(yīng)將物質(zhì)表面或線路進(jìn)行蝕刻,可以實(shí)現(xiàn)高精度、高速度、高質(zhì)量的微型結(jié)構(gòu)加工,因此被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、芯片制造、3D打印、納米技術(shù)、生物醫(yī)學(xué)等眾多領(lǐng)域