真空爐是一種在真空環(huán)境中進(jìn)行加熱處理的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域的多種材料處理。
真空爐的主要特點(diǎn)包括:
可以在沒有氧氣的情況下進(jìn)行熱處理,避免材料的氧化、燒損或其他化學(xué)反應(yīng)。 分為輻射加熱真空爐和電阻加熱真空爐兩種類型,前者使用電加熱器或電子束加熱器作為熱源,后者使用電阻絲或電阻環(huán)來加熱工件。 廣泛應(yīng)用于金屬熱處理、玻璃制造、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域,能夠控制加熱溫度和保持恒定的壓力,確保材料在優(yōu)化的工藝條件下進(jìn)行處理。 內(nèi)部結(jié)構(gòu)通常由高溫材料構(gòu)成,如石英、金屬合金等,以保證其能夠耐受高溫環(huán)境。 具有快速升溫和冷卻的能力,提高生產(chǎn)效率。