PC在線氣體配比器，主要用于氣體流量測試，并按比例混合氣體，為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環(huán)境，控制方式采用數(shù)字控制 精度高 抗干擾能力強 根據(jù)客戶要求隨意修改氣體。
該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體，采用CS200或CS100質(zhì)量流量計，氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強，閥門采用高壓球閥做截止閥，氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭，方便連接且不易泄漏。
1. 半導體制造行業(yè)中氣體流量控制
2. 各種真空鍍膜設(shè)備；
3. 特種材料表面處理
4. 氣體燃燒控制
5. 混合配氣系統(tǒng)
6. 泄漏探測系統(tǒng)
7. 環(huán)境檢測與分析設(shè)備
8. 分析儀器的氣體流量計量與控制
9. 化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所。
|
氣體通道 |
2進1出（KT-C2ZS） |
3進1出（KT-C3ZS） |
4進1出（KT-C4ZS） |
|
可根據(jù)需求定制 |
|||
|
產(chǎn)品類型 |
高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制 |
||
|
可選量程 |
20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選) |
||
|
產(chǎn)品精度 |
高精度型±1％F.S 普通型±1％F.S |
||
|
重復精度 |
高精度型±0.2% F.S 普通型±0.2% F.S |
||
|
線性 |
高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S. |
||
|
響應(yīng)時間 |
高精度型≤1sec 普通型≤2sec |
||
|
工作溫度范圍 |
(5~45)°C |
||
|
供電電源 |
~85-265VAC 50/60Hz |
||
|
功耗 |
40W |
||
|
進氣口壓 |
≤0.6MPa |
||
|
連接管道 |
316不銹鋼管道 |
||
|
截止閥類型 |
電磁閥 |
||
|
單向閥開啟壓力 |
0.02Mpa |
||
|
壓力顯示量程 |
0-0.6Mpa |
||
|
控制方式 |
7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié) |
||
|
時間設(shè)定 |
0-32000分鐘 |
||
|
清洗功能 |
一鍵清洗 |
||
|
程序控制 |
5段可編程序(時間-流量隨意設(shè)定值) |
||
|
壓力顯示 |
不銹鍘機械壓力表 |
||
|
氣體混合罐 |
有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻） |
||
|
流量累計 |
有（累計當前運行總流量） |
||
|
可選進出氣口接頭形式 |
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 |
||
|
抗電磁干擾 |
有 |
||
|
外形尺寸 |
約500x380x380mm |
||
|
重量 |
18KG～20KG |
