小型坩堝真空高溫鍍膜儀KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預熱功率及蒸發(fā)功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜
小型濺射儀
小型坩堝真空高溫鍍膜儀技術(shù)資料
|
控制方式 |
7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
|
加熱方式 |
數(shù)字式功率調(diào)整器 |
|
鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
|
功率 |
≤1200W |
|
輸出電壓電流 |
電壓≤12V 電流≤120A |
|
真空度 |
機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa |
|
擋板類型 |
電控 |
|
真空腔室 |
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
|
樣品臺 |
可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） |
|
樣品臺轉(zhuǎn)速 |
8轉(zhuǎn)/分鐘 |
|
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 |
70-140mm |
|
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) |
≤1800℃ |
|
支持蒸發(fā)坩堝類型 |
鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
|
預留真空接口 |
KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
|
可選配擴展 |
機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數(shù)顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa） |
