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超小型真空探針臺

超小型真空探針臺:可應用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學性能測試分析,如:半導體/微電子,電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。

真空腔體

腔體材質

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側開

加熱臺材質

304不銹鋼

內腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫度

﹣196~350℃

加熱臺溫控誤差

±1℃

真空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號接頭

SMA轉BNC X 4

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V

探針數量

4探針

探針材質

鎢針  

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數

0.7-4.5倍

工作間距

90mm

相機

sony 高清

像素

19201080像素

圖像接口

VGA

LED可調光源

顯示屏

8寸

放大倍數

19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

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