2L腔體等離子清洗機(jī)，石英腔體潔凈度高，前面留有直徑50mm觀察窗，觸摸屏控制人機(jī)界面。
等離子體清洗的機(jī)理，主要是依靠等離子體中活性粒子的"活化作用"達(dá)到去除物體表面污漬的目的。等離子體清洗通常包括以下過程:無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。
1、可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。
2、不會對人員的身體造成任何傷害。
3、其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。
2L腔體等離子清洗機(jī)KT-S2DQX
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供電電源 |
AC220V（AC110V可選) |
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工作電流 |
整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
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射頻電源功率 |
150W |
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射頻頻率 |
13.56MHz |
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頻率偏移量 |
＜0.2MHz |
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特性阻抗 |
50歐姆，手動匹配 |
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耦合方式 |
電容耦合 |
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真空度 |
≤100Pa |
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腔體材質(zhì) |
高純石英 |
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腔體容積 |
2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM) |
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觀察窗內(nèi)徑 |
Φ65 |
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氣體流量 |
10—100ml/min（其他量程可選） |
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過程控制 |
過程手動控制 |
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清洗時間 |
手動開關(guān) |
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開蓋方式 |
鉸鏈側(cè)開式法蘭 |
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外形尺寸 |
400x380x360mm |
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重量 |
23Kg |
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真空室溫度 |
小于65°C |
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冷卻方式 |
強(qiáng)制風(fēng)冷 |
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標(biāo)配 |
KF16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網(wǎng)匣1個，電源線一根，說明書一本。 |
