技術(shù)參數(shù)；
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真空腔體 |
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型號 |
KT-0904T-RL高低溫型 KT-0904T-R高溫型 |
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類型 |
加熱型400℃ 加熱制冷型室溫到-190℃~400℃ |
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腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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腔體內(nèi)尺寸 |
φ90x40mm |
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腔體上視窗尺寸 |
Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm） |
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腔體抽氣口 |
KF16 |
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腔體進(jìn)氣口 |
公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
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腔體出氣口 |
公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
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腔體正壓 |
≤0.05MPa |
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腔體真空度 |
機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
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樣品臺 |
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樣品臺材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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樣品臺尺寸 |
26X26mm |
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樣品臺-視窗 距離 |
30mm（可選凹視窗間距15mm） |
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樣品臺測溫傳感器 |
A級PT100鉑電阻 |
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樣品臺溫度 |
室溫到400℃（可選高低溫樣品臺 高溫400℃低溫-190℃） |
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樣品臺測溫誤差 |
±0.2℃ |
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樣品臺變溫速率 |
高溫10℃/min 低溫5℃/min 值 |
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溫控儀 |
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溫度顯示 |
7寸人機(jī)界面 |
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溫控類型 |
標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫） |
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溫度分辨率 |
0.1℃ |
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溫控精度 |
±0.5℃ |
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溫度信號輸入類型 |
PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶） |
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溫控輸出 |
直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷） |
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輔助功能 |
溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時溫度曲線+歷史溫度曲線 |
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探針 |
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電信號接頭 |
配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 |
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電學(xué)性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
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探針數(shù)量 |
4探針 |
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探針材質(zhì) |
鍍金鎢針 |
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探針尖 |
10μm |
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探針移動平臺 |
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X軸移動行程 |
12mm ±6mm |
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X軸控制精度 |
≤5μm |
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Y軸移動行程 |
12mm ±6mm |
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Y軸控制精度 |
≤5μm |
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Z軸移動行程 |
12mm ±6mm |
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Z軸控制精度 |
≤5μm |
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數(shù)碼顯微鏡 |
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顯微鏡類別 |
物鏡放大+電子放大 |
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顯微鏡放大倍數(shù) |
100倍 |
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顯微鏡工作間距 |
50-150mm |
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相機(jī)分辨率 |
1080P 60幀 |
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相機(jī)信號輸出 |
HDMI輸出+USB輸出 |
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LED可調(diào)光源 |
LED光源 |
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顯示屏 |
5寸 屏幕一體機(jī) |
