產(chǎn)品用途：探針臺主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測試，廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
該探針臺的承載臺為60＊60不銹鋼臺面，臺面可升溫到350℃。真空腔體設(shè)計有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為x/y/z三軸移動，三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中x方向調(diào)節(jié)范圍：0--30mm; y方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需要檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架x/y/z方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準(zhǔn)檢測點后，即可進(jìn)行檢測。
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真空腔體 |
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腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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上蓋開啟 |
鉸鏈側(cè)開 |
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加熱臺材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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內(nèi)腔體尺寸 |
φ160x90mm |
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觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
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加熱臺尺寸 |
φ60mm |
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觀察窗熱臺間距 |
75mm |
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加熱臺溫度 |
﹣196~350℃ |
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加熱臺溫控誤差 |
±1℃ |
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真空度 |
機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
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允許正壓 |
≤0.1MPa |
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真空抽氣口 |
KF25真空法蘭 |
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氣體進(jìn)氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
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電信號接頭 |
SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
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電學(xué)性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
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探針數(shù)量 |
4探針 |
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探針材質(zhì) |
鎢針 |
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探針尖 |
10μm |
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探針移動平臺 |
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X軸移動行程 |
30mm ±15mm |
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X軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Y軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
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Y軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Z軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
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Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
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電子顯微鏡 |
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顯微鏡類別 |
物鏡 |
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物鏡倍數(shù) |
0.7-4.5倍 |
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工作間距 |
90mm |
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相機(jī) |
sony 高清 |
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像素 |
19201080像素 |
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圖像接口 |
VGA |
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LED可調(diào)光源 |
有 |
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顯示屏 |
8寸 |
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放大倍數(shù) |
19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
