99热久久这里只有精品,99久久人妻精品免费二区,成人综合亚洲欧美一区,国产成人精品亚洲一区,久久国产亚洲精品赲碰热

桌面式磁控濺射儀

桌面式濺射儀KT-Z1650PVD水冷式濺射源,可實(shí)現(xiàn)高功率持續(xù)運(yùn)行,有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

電子在電場(chǎng)的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞,電離出大量的氬離子和電子,電子飛向基片。氬離子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜。二次電子在加速飛向基片的過程中受到磁場(chǎng)洛倫茲力的影響,被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi),該區(qū)域內(nèi)等離子體密度很高,二次電子在磁場(chǎng)的作用下圍繞靶面作圓周運(yùn)動(dòng),該電子的運(yùn)動(dòng)路徑很長(zhǎng)。

桌面式濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù);

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V 電流≤1A

真空

機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測(cè)量

皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa)

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

聯(lián)系我時(shí)請(qǐng)說明來自志趣網(wǎng),謝謝!

免責(zé)申明:志趣網(wǎng)所展示的信息由用戶自行提供,其真實(shí)性、合法性、準(zhǔn)確性由信息發(fā)布人負(fù)責(zé)。使用本網(wǎng)站的所有用戶須接受并遵守法律法規(guī)。志趣網(wǎng)不提供任何保證,并不承擔(dān)任何法律責(zé)任。 志趣網(wǎng)建議您交易小心謹(jǐn)慎。