質(zhì)量流量計智能氣體配比器，可選配七星各種系列流量計，觸摸屏控制調(diào)節(jié)不同時間不同流量氣體，操控簡單，
CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補(bǔ)小償算法，全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn)，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。
準(zhǔn)確度采用設(shè)定點(diǎn)精度，產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.，響應(yīng)時間最快≤ 0.5sec。
CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補(bǔ)償功能，對前段氣體壓力的擾動進(jìn)行有效的補(bǔ)償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
質(zhì)量流量計智能氣體配比器
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產(chǎn)品型號 |
KT-PCS4Z |
KT-C4ZS |
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氣體通道 |
4進(jìn)1出 |
4進(jìn)1出 |
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可根據(jù)需求定制 |
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產(chǎn)品類型 |
高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制 |
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可選量程 |
20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選) |
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產(chǎn)品精度 |
高精度型±1％F.S |
普通型±1％F.S |
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重復(fù)精度 |
高精度型±0.2% F.S |
普通型±0.2% F.S |
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線性 |
高精度型±0.5% F.S. |
普通型±1% F.S. |
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響應(yīng)時間 |
高精度型≤2sec |
普通型≤4sec |
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工作溫度范圍 |
(5~45)°C |
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供電電源 |
~85-265VAC 50/60Hz |
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功耗 |
40W |
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進(jìn)氣口壓 |
≤0.6MPa |
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連接管道 |
316不銹鋼管道 |
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截止閥類型 |
電磁閥 |
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單向閥開啟壓力 |
0.02Mpa |
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壓力顯示量程 |
0-0.6Mpa |
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控制方式 |
7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié) |
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時間設(shè)定 |
0-32000分鐘 |
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清洗功能 |
一鍵清洗 |
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程序控制 |
5段可編程序(時間-流量隨意設(shè)定值) |
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壓力顯示 |
有（出氣壓力檢測且有壓力上限設(shè)置過壓切斷總輸出氣路） |
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氣體混合罐 |
有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻） |
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氣體加熱 |
無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調(diào)） |
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流量累計 |
有（累計當(dāng)前運(yùn)行總流量） |
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可選進(jìn)出氣口接頭形式 |
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 |
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抗電磁干擾 |
有 |
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外形尺寸 |
550x380x400mm |
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重量 |
18KG～20KG |
