激光干涉儀又稱為干涉測量裝置，是一種利用光的干涉原理來測量物體長度、厚度、形狀、折射率等參數(shù)的儀器。集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
中圖激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成�？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。
技術(shù)規(guī)格
穩(wěn)頻精度 0.05ppm
動態(tài)采集頻率 50 kHz
預(yù)熱時間 ≤ 6分鐘
工作溫度范圍 (0~40)℃
存儲溫度范圍 (-20~70)℃
環(huán)境濕度 (0~95)%RH
線性測量距離 (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
線性測量精度 0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程 (0~15)m
角度測量精度 ±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程 (0~15)m
平面度測量精度 ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)
直線度軸向量程 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程 短距離(0.1～3.0)m;長距離(1.0～15.0)m
垂直度測量精度 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事項：
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
功能廣
（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；
（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補償。
軟件強
（1）友好的人機(jī)界面；
（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；
（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>
（4）簡潔化的記錄管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企業(yè)專屬模板定制。
