催化氧化也稱無(wú)焰燃燒，其實(shí)質(zhì)是催化氧化反應(yīng)，即采用催化劑，利用催化劑的深度催化氧化活性將有機(jī)組份在燃點(diǎn)以下的溫度（200-400℃）與氧氣生成水蒸氣和二氧化碳，達(dá)到凈化目的。催化燃燒的實(shí)質(zhì)是活性氧參與的劇烈氧化反應(yīng)，在低溫條件下，催化劑將氧活化，降低反應(yīng)的活性能，當(dāng)活化的氧與反應(yīng)物分子接觸時(shí)發(fā)生能量傳遞，反應(yīng)物分子被活化，導(dǎo)致可燃組分在燃點(diǎn)下就可以發(fā)生燃燒反應(yīng)，同時(shí)利用燃燒產(chǎn)生的熱量，進(jìn)一步加速氧化反應(yīng)的進(jìn)行。

在將廢氣進(jìn)行催化凈化的過程中，廢氣經(jīng)管道由風(fēng)機(jī)送入熱交換器，將廢氣加熱到催化燃燒所需要的起始溫度。經(jīng)過預(yù)熱的廢氣，通過催化劑層使之燃燒。由于催化劑的作用，催化燃燒法廢氣燃燒的起始溫度約為250～300℃，大大低于直接燃燒法的燃燒溫度650～800℃，高溫氣體再次進(jìn)入熱交換器，經(jīng)換熱冷卻，終以較低的溫度經(jīng)風(fēng)機(jī)排入大氣。