等離子體采用脈沖高頻高壓電源，利用雙介質齒板放電裝置，以放電形式產(chǎn)生等離子體；等離子體能夠在毫秒級的時間內，對廢氣和空氣分子鍵進行轟擊斷裂，產(chǎn)生高濃度、高強度、高能量的各種活性自由基、高能電子、高能離子等，同時產(chǎn)生大量臭氧、原子氧、生態(tài)氧等混合氣體，進行一系列復雜的分化裂解和氧化還原反應；活性自由基和臭氧可以有效地破壞各種病毒、細菌中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態(tài)氧能迅速將廢氣分子異味氣體進行分解或還原為低分子無害物質；另外，借助等離子體中的電子和離子的聚合吸附作用，可以對小至亞微米級的細微有機廢氣顆粒物進行有效的吸附沉降處理。

放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、高能離子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。