產(chǎn)品信息：

在實(shí)際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來(lái)越大，用于測(cè)試的探針臺(tái)相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場(chǎng)應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低的簡(jiǎn)易式探針臺(tái)，在滿足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺(tái)，探針座，四維調(diào)整載片臺(tái)（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；    

創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái)，以達(dá)到更好得使用效果和性價(jià)比。

技術(shù)參數(shù)：

結(jié)構(gòu)緊湊，功能實(shí)用，高性價(jià)比

可用于12寸以內(nèi)樣品測(cè)試    

1微米以上電極/PAD使用

兼容高倍率電子顯微鏡/體式顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降

漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）

精密絲杠/導(dǎo)軌傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì)

應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用

模塊化設(shè)計(jì)，可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊

多被用于晶圓測(cè)試、LED測(cè)試、功率器件測(cè)試、MEMS測(cè)試、PCB測(cè)試、液晶面板測(cè)試、太陽(yáng)能電池片測(cè)試、材料表面電阻率測(cè)試等；