一、設備簡介
NE-PE13F是一款小型真空等離子處理系統(tǒng)，廣泛應用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。設備采用進口品牌高性能旋片真空泵快速產(chǎn)生一個小于1-2 Pa的真空壓強，同時根據(jù)客戶工藝要求，對真空反應腔室內通入不同的混合工藝氣體，采用進口高品質等離子發(fā)生器，使得通入的工藝氣體產(chǎn)生等離子體，并確保穩(wěn)定產(chǎn)生高密度，高能量的離子。等離子體與材料發(fā)生復雜的物理，化學反應，可以實現(xiàn)不同的工藝功能，比如清洗，活化，刻蝕與涂敷等。等離子態(tài)顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍色到深紫色的色彩可見光。
NE-PE13F 系統(tǒng)功能特點：
•耐用的高品質不銹鋼結構和固定裝置
•不銹鋼托盤設計，可調節(jié)托盤間距
•8K鏡面不銹鋼腔體，卓越密封性
•13.56射頻等離子發(fā)生器，產(chǎn)生高密度等高子體，確保出眾的清洗效果；
•直觀的觸摸屏，過程參數(shù)實時監(jiān)控。
•方便的定期校準設備連接驗證過程中使用的要求
•支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
•通過聯(lián)鎖門或可移動的板
•兩個標準的浮子針閥流量控制器，氣體控制
二、設備參數(shù)
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序號 |
項目 |
型號規(guī)格 |
參數(shù) |
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1 |
等離子體發(fā)生器 |
功率 |
0-300W可調 |
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抗輻射干擾高頻匹配器 |
自動阻抗匹配 |
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頻率 |
13.56 MHz |
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2 |
真空反應腔室 |
腔體材質 |
進口 316 鏡面不銹鋼，軍工級密封 |
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腔體容積 |
240(W)*280(D)*200(H)mm; 13.5L |
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腔體有效處理面積 |
205（W）×205（D）mm |
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絕緣陶瓷 |
進口高頻陶瓷 |
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3 |
放電電極 |
電極 |
高導電鋁合金專用電極 |
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放電形式 |
CCP & RIE 離子反應放電模式 |
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電極間距 |
可調整電極之間的距離，調整等離子體強度和密度，極大提升處理能力和效率 |
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4 |
氣路控制 |
氣體流量控制器 |
浮子針閥流量控制器， 0-1000ML |
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氣路設計 |
腔體雙側均勻進氣氣路設計，保證清洗，刻蝕均勻性 |
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氣路數(shù)量 |
配置2路工藝氣路，可支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣，四氟化碳，NH3,CCL4等 |
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5 |
真空測量 |
真空計 |
日本 SMC |
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6 |
抽氣系統(tǒng) |
真空泵 |
飛越 16m³/H，加裝油霧過濾器 |
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極限真空度 |
0.1PA |
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真空管路 |
不銹鋼管路+氣動閥門 |
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7 |
控制系統(tǒng) |
PLC |
松下PLC模塊 |
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觸摸屏 |
4.3寸 |
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軟件程序 |
自主專利設計等離子控制系統(tǒng) |
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8 |
場務條件 |
電源供應 |
220V |
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氣管接口 |
直徑8mm |
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氣體純度 |
99.99% |
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氣體壓力 |
0.3-0.6Mpa |
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排氣口 |
KF25 |
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9 |
整機參數(shù) |
整機功率 |
1000W |
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外形尺寸 |
600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H) |
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重量 |
80kg |
